Plasma yfirborðshreinsun er ferli þar sem óhreinindi og aðskotaefni af yfirborði sýnisins eru fjarlægð með því að búa til háorkuplasma úr loftkenndum ögnum, það var hannað fyrir ýmis forrit eins og yfirborðshreinsun, yfirborðshreinsun, yfirborðsvirkjun, breyting á yfirborðsorku, yfirborðsundirbúningur fyrir tengingu og viðloðun, breytingar á yfirborðsefnafræði.